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   PTA970618001 Büro/EDV, Wirtschaft/Finanzen

   Computer/Chip/Inspektion
   Austria Mikro Systeme verkürzt ASIC-Lieferzeiten
   Einsatz eines hochpräzisen KLA-Maskeninspektionsgerätes

   Unterpremstätten (18. Juni 97/11:04) - Kunden der Austria Mikro Systeme-Gruppe
   profitieren ab sofort von verkürzten ASIC-Lieferzeiten durch den Einsatz
   eines hochpräzisen KLA-Masken-Inspektionsgerätes 351 aus den USA. Das
   Gerät reduziert die Masken-Inspektions-Durchlaufzeiten um 10 Tage und
   erhöht die zu bearbeitende Maskenanzahl, einschließlich jene für Thesys
   und SAMES. Die Notwendigkeit der Gruppe, für die Maskeninspektion auf
   externe Unternehmen zurückzugreifen, wird damit stark reduziert.

   Das Inspektionsgerät untersucht chrombeschichtete Quarzmasken vollautomatisch
   auf Defekte, indem es die gesamte Oberfläche der Maske scannt, und die
   Aufnahme mit den computer-generierten Maskendaten vergleicht. Bis dato
   mußten zwei Muster auf einer Maske optisch verglichen und ausgewertet
   werden.

   Das KLA-Gerät ist die ideale Ergänzung zu den neuen ETEC CORE Laser-Beam,
   der erst kürzlich installiert wurde: Masken können nun in nur noch einem
   Viertel der Zeit, die bei der traditionellen Methode notwendig war, fertiggestellt
   und inspiziert werden.

   Austria Mikro Systeme investiert derzeit intensiv in Submikron-Technologien
   – gegenwärtig fertigt das Unternehmen Technologien, die bis zu 0.6-Mikrometer
   reichen. Da der KLA Defekte mit 0,25-Mikron erkennt, ist das Unternehmen
   bestens für Prozesse der nächsten Generation gerüstet.

   Text auch auf: http://www.vertical-global.com

   



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   Aussender:       Austria Mikro Systeme International AG
   Ansprechpartner: Christine Schreiner, 
                    email: c_schreiner@ams.co.at, 
                    Tel. 03136-500-441