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   pte971104003 Büro/EDV/Internet, Industrie/Technik

   Computer/Chip/Produktion

   Computerchips auch kleiner Stückzahl produzierbar
   Spiegel als programmierbare Maske bei Belichtung von Siliziumwafern

   Frankfurt (pte) (4. November 97/11:06) - Eine geniale Methode, Computer-Chips
   auch in geringer Stückzahl mit vertrebarem Aufwand herzustellen, haben
   Wissenschaftler des Fraunhofer-Institutes für Mikroelektronische Schaltungen
   und Systeme entwickelt und mit dem jungen Berliner Unternehmen SENTECH
   zur Serienreife gebracht: Ihnen dient ein gezielt verformbarer Spiegel
   als programmierbare Maske bei der Belichtung von Siliziumwafern.

   Wo sonst bei der Herstellung der Halbleiter nach einem langen und mühsamen
   Feinabstimmungsprozeß starre Masken Schatten auf den Wafer werfen, damit
   dort Markierungen für herauszuätzende Chip-Strukturen entstehen, kann
   der Spiegel die Aufgabe der Masken übernehmen: Der Lichtstrahl trifft
   auf eine Spiegelmembran, die über zwei Millionen einzeln ansteuerbare
   Elektroden so verformen, daß nur definierte Stellen das Licht auf den
   Wafer reflektieren. Die an Spiegel-Dellen ausgelenkten Strahlen werden
   weggefiltert.

   Da die Stempel programmiert werden können, muß nicht für jede Neueinstellung
   eine neue, teure Maske produziert werden. Das Verfahren, die Oberfläche
   von Spiegeln mit Hilfe kleiner Stempel "auszudellen“, nutzen übrigens
   seit Neuestem auch die Betreiber von Teleskopen: Sie korrigieren auf
   diese Weise die Oberfläche ihrer Riesenspiegel, die so wesentlich dünner
   und leichter gebaut werden können. [Quelle: Fraunhofer Magazin]

   



   
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